09:30 〜 11:30
[13a-PA2-3] プロトン伝導性SrZr0.8Y0.2O3-δ薄膜の低温結晶化
キーワード:強誘電体、高誘電率薄膜、薄膜
本研究ではSZYOを室温でアモルファス成膜し, その後アニール処理で結晶化させることで柱状成膜を抑制し薄膜の導通を防ぐことを目的とした. SZYOを成膜しアニールした際の温度比較, また大気アニール, 真空アニールでのX線回折強度比較について報告する.
一般セッション(ポスター講演)
6 薄膜・表面 » 6.1 強誘電体薄膜
2020年3月13日(金) 09:30 〜 11:30 PA2 (第3体育館)
09:30 〜 11:30
キーワード:強誘電体、高誘電率薄膜、薄膜