[13a-PA2-1~10] 6.1 強誘電体薄膜

[13a-PA2-4] スパッタ法によるLiイオン伝導性固体電解質薄膜の作製と評価

〇(B)成澤 謙真¹、内山 潔¹ (1.鶴岡高専)

キーワード：固体電解質、Liイオン、薄膜

本研究では，大気中での安定性に優れるプロブスカイト型酸化物に着目した．最近，ペロブスカイト型酸化物であるSrTiO₃（STO）基板を用いたLi系酸化物薄膜作製において，成膜中にSTO中にLiが拡散するという報告があった．この報告を受け，私たちは，LiはSTO中を容易に伝導する可能性があるのではないかと考え，本研究では実際にLiを添加したSTO薄膜を作製し，Li添加の伝導性に与える効果についての評価を行った．