[13a-PA2-1~10] 6.1 Ferroelectric thin films

[13a-PA2-8] Crystallinity and Piezoelectric Properties of BiFeO₃ Thin Films Prepared by an in-situ Laser Irradiation PLD Method

〇Hirokazu Izumi¹, Takeshi Yoshimura², Norifumi Fujimura² (1.Hyogo Pref. Inst. Tech., 2.Osaka Pref. Univ.)

Keywords:PLD, piezoelectric, BiFeO3

成膜中の基板上へレーザー光を照射（アシストレーザー光照射）するPLD法によりBiFeO₃薄膜を作製し、その結晶性と圧電特性について検討した。アシストレーザー光照射を行うことで単相のペロブスカイト相に結晶化し、圧電定数d_33,AFMは大きく改善した。