[13a-PA2-1~10] 6.1 強誘電体薄膜

[13a-PA2-8] アシストレーザー光照射PLD法により作製したBiFeO₃薄膜の結晶性と圧電特性

〇泉 宏和¹、吉村 武²、藤村 紀文² (1.兵庫工技セ、2.大阪府大院)

キーワード：PLD法、圧電性、BiFeO3

成膜中の基板上へレーザー光を照射（アシストレーザー光照射）するPLD法によりBiFeO₃薄膜を作製し、その結晶性と圧電特性について検討した。アシストレーザー光照射を行うことで単相のペロブスカイト相に結晶化し、圧電定数d_33,AFMは大きく改善した。