[13a-PA3-1~35] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[13a-PA3-16] パイロクロア型Sn₂Ta₂O₇エピタキシャル薄膜へのp型ドーピング

〇福本 通孝¹、廣瀬 靖¹、杉澤 悠紀²、関場 大一郎²、長谷川 哲也¹ (1.東大院理、2.UTTAC)

キーワード：透明導電酸化物、パルスレーザー堆積法