[13a-PA3-1~35] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[13a-PA3-28] 有機金属分解法を用いて作製した不純物添加SnO₂薄膜の構造・電気特性

〇木戸 一輝¹、澤畠 淳二¹ (1.茨城高専)

キーワード：半導体薄膜