[13a-PA3-1~35] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[13a-PA3-34] TiO₂/VO₂/ZnOナノロッド/glass積層構造スマートウィンドウにおけるTiO₂成膜温度の光学特性への影響

〇陳 飛¹、福住 達郎¹、沖村 邦雄²、山口 巌³、土屋 哲男³ (1.東海大院工、2.東海大工、3.産総研)

キーワード：二酸化バナジウム、光学特性、スマートウィンドウ

温度変化による半導体―金属相転移現象を生じる二酸化バナジウム(VO₂)を利用したスマートウィンドウは，周囲の温度により自動スイッチングができるため，省エネルギー対策法として注目されている．本研究ではVO₂を用いたスマートウィンドウの可視光透過率を向上させるために二酸化チタン(TiO₂)反射防止膜を導入した．スパッタリング法を用いてVO₂/ZnOナノロッド/glass積層構造サンプル上に異なる基板温度条件下でTiO₂を堆積し，サンプルの光学特性への影響を検討した．