[13a-PA3-1~35] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[13a-PA3-7] 高圧力下における反応性スパッタで作製した酸化タングステン薄膜におけるエレクトロクロミック特性の膜厚依存性

〇八木 理子¹、室伏 麻理子¹、ミヤ モハメッド　シュルズ¹、中野 武雄¹ (1.成蹊大院理工)

キーワード：エレクトロクロミック特性

代表的なEC材料であるWO3に対し、カチオンが注入されやすい疎な膜構造ができるよう3 Pa以上の高圧力下でスパッタを行った。従来は300 nm程度の膜厚で着色後透過率が10%以上の報告が多かったが、今回500 nm程度の膜でサイクリックボルタンメトリ測定を3サイクル行うと、着色後透過率は約9%未満まで下がり、消色すると79%まで回復をした。電気化学プロセスによるカチオン注入の効果を見るため、EC特性の膜厚依存性を評価した。