[13a-PB2-1~7] 16.1 基礎物性・評価・プロセス・デバイス

[13a-PB2-4] RuO₂粒子分散バナジン酸塩ガラスコンポジットの荷重センサ特性

〇齋藤 康善¹、浅井 満¹、和田 賢介¹ (1.豊田中研)

キーワード：ガラスコンポジット、力学量センサー

我々は低コストで製造可能なガラス系荷重センサ材料に着目し，RuO₂粒子分散Pb絶縁ガラスコンポジットの荷重抵抗特性について報告してきた．然しながら，将来の鉛使用規制強化に対して非鉛ガラス系荷重センサ材料を創製する必要がある．今回，非鉛半導体バナジン酸塩ガラスに着目し，荷重センサ特性を調べ,荷重抵抗変化率は-0.7％@100MPaである事を明らかにした．更にRuO₂粒子分散複合化により-1.32％@100MPaと感度を約2倍に向上できる事を見出した結果を報告する．