[13p-A303-1~9] 先端イオン顕微鏡技術の近年の進捗：ナノ材料・デバイスへの展開

▲ [13p-A303-8] Voltage contrast of BaTiO3 dielectric material by Helium Ion Microscopy

〇Shinichi Ogawa¹、Akira Saito² (1.AIST、2.Murata Manufacturing)

キーワード：Helium Ion Microscopy, Voltage Contrast, BaTiO3