[13p-A402-1~10] エナジーストレージ素子の最前線　～大容量・高信頼性に向けて～

[13p-A402-2] スパッタ法による積層誘電体薄膜作製技術

〇神野 伊策¹ (1.神戸大工)

キーワード：誘電体薄膜、全固体リチウム薄膜電池