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[13p-A402-7] Fabrication of xCaZrO3-(1-x)NaNbO3 thin films by CSD method and their characterization
Keywords:NaNbO3-based materials, Epitaxial thin films, Antiferroelectric
反強誘電体材料は、印加電界に対して特異なP-Eループを示すことから、蓄電デバイスや冷却デバイスへの応用が検討されている。本研究では組成制御が容易な化学溶液堆積法 (CSD法) を用いてより、エピタキシャルxCaZrO3-(1-x)NaNbO3薄膜を作製し、その結晶構造および電気特性を評価したので報告する。