[13p-A402-1~10] エナジーストレージ素子の最前線　～大容量・高信頼性に向けて～

[13p-A402-7] CSD法によるxCaZrO₃-(1-x)NaNbO₃薄膜の作製と特性評価

〇白石 貴久¹、鈴木 志歩¹、木口 賢紀¹、今野 豊彦¹ (1.東北大)

キーワード：ニオブ酸ナトリウム基材料、エピタキシャル薄膜、反強誘電体

反強誘電体材料は、印加電界に対して特異なP-Eループを示すことから、蓄電デバイスや冷却デバイスへの応用が検討されている。本研究では組成制御が容易な化学溶液堆積法 (CSD法) を用いてより、エピタキシャルxCaZrO₃-(1-x)NaNbO₃薄膜を作製し、その結晶構造および電気特性を評価したので報告する。