[13p-B410-1~10] レーザー誘起ナノ周期構造の研究の現状～どこまで分かっているのか？技術の展望はあるのか？

[13p-B410-3] パルス間隔とパルス積重数がLIPSS形成に及ぼす影響

〇(B)大貝 哲将¹、宮川 鈴衣奈¹、江龍 修¹ (1.名工大)

キーワード：フェムト秒レーザー誘起周期構造

LIPSS形成において積重するレーザーパルス同士の相互作用を調べるため、基板の同一箇所に照射するレーザーのパルス間隔tとパルス積重数Nを変化させその影響を調べた。レーザーフルエンス 1.13J/cm2でGaAs基板に照射したところ、パルス間隔の大きなt = 0.42sでは、N=4以上で周期約900nmのLSFLが形成され始めたのに対し、パルス間隔の小さなt = 10µsではN=2以上で形成された。