[13p-B410-1~10] レーザー誘起ナノ周期構造の研究の現状～どこまで分かっているのか？技術の展望はあるのか？

[13p-B410-5] 斜入射レーザー誘起表面周期構造形成過程のパルス毎光学観察

柴田 恭輔¹、〇松尾 繁樹¹ (1.芝浦工大)

キーワード：レーザー誘起表面周期構造、斜入射、パルス毎光学観察

斜入射におけるレーザー誘起表面周期構造（リップル）の形成過程を，パルス毎に，簡単な光学的手法で観察した。波長1,064 nm，パルス幅0.5 nsのNd:YAGレーザーを用い，p偏光でSUS304基板に入射した実験において，入射角60°で周期は約3 μmとなり，尾根（溝）の線を分解して観察することが可能だった。レーザー照射によって線のつながり方が変化する様子が観察された。