[13p-B410-1~10] Research progress on laser-induced periodic surface structure ~What has been revealed? How about the technology outlook?~

[13p-B410-9] Parallel multibeam laser processing with polarization control

〇Satoshi Hasegawa¹, Yoshio Hayasaki¹ (1.Utsunomiya Univ.)

Keywords:nanograting, femtosecond laser processing, spatial light modulator

日本語：偏光制御されたフェムト秒レーザー照射により誘起されるナノ周期構造は，金属や半導体表面の改質加工や透明材料内部への複屈折構造の作製に応用されている．そのナノ周期構造の作製における課題は，加工スループットの向上である．我々は空間光変調素子に表示された計算機ホログラムにより実現されるビーム整形を駆使して高スループット・高光利用効率なレーザー加工を実証してきた．本研究では，フェムト秒レーザーの波面と偏光分布を任意・可変に制御可能な多点同時偏光制御レーザー加工を報告する．