[13p-B414-1~9] 量子コンピュータ開発のための応用物理

[13p-B414-5] 窒化物超伝導量子ビット

〇寺井 弘高¹、金 鮮美¹、布施 智子¹、丘 偉¹、山下 太郎^2,3、吉原 文樹¹、仙場 浩一¹ (1.情報通研、2.名古屋大、3.さきがけ)

キーワード：超伝導、量子ビット、窒化物材料

我々はフルエピタキシャルNbN/AlN/NbN接合を用いた超伝導量子ビットの作製・評価を進めている。本講演では、Si基板上への(100)配向TiN薄膜の作製技術、この(100)配向TiN薄膜をバッファ層とした低リークのフルエピタキシャルNbN/AlN/NbN接合の作製技術をベースとした超伝導量子ビットについて、最近の進展を紹介する。