[13p-B415-1~14] 3.3 情報フォトニクス・画像工学

[13p-B415-6] 近接場顕微鏡における表面走査による奥行き構造観察技術の開発

〇佐尾 真侑¹、竹田 悟²、川田 善正² (1.静岡大光医工学、2.静岡大工)

キーワード：近接場顕微鏡

近接場顕微鏡は試料の表面構造を高分解能に観察できるが，光源から奥行方向に離れた構造については光が拡がってしまい観察できないという課題がある。本研究では奥行き構造の観察を可能にすることを目的に，光源を一点に照射したときの瞳面での二次元強度分布と，計算によって求める複数の三次元空間の二次元強度分布の相関係数を評価することにより奥行きの情報を取得する観察技術を提案する。