[13p-D209-1~7] 1.3 新技術・複合新領域

[13p-D209-3] MOD法による V_0.75Ti_0.25O₂薄膜の作製条件の検討

〇藤城 雄飛¹、河原 正美²、佐村 剛²、立木 隆¹、内田 貴司¹ (1.防衛大学校　電気電子、2.高純度化学研)

キーワード：有機金属分解(MOD)法、二酸化チタンバナジウム薄膜