[13p-D215-1~6] 量子ビームによる表面物性・構造解析の新展開

[13p-D215-4] 波長分散型CTR散乱法による界面原子層のライブ観察

〇白澤 徹郎¹ (1.産総研)

キーワード：X線CTR散乱、電極界面、薄膜成長過程

X線CTR（crystal truncation rod）散乱は表面・界面の原子配列を非破壊解析できる強力な方法として用いられてきたが，解析に必要なデータセットの取得に時間がかかるため静的な構造の解析に留まっていた。我々は，界面原子層のオペランド観察への展開を目指して，CTR散乱プロファイルの迅速測定法を開発してきた。その特徴を示すとともに，固液および固相界面原子層のライブ観察の結果を紹介する。