[13p-D215-1~6] New developments of surface properties and structural analysis by quantum beams

[13p-D215-5] Operando analysis of the electronic structure on solid-state devices studied by nano-focused x-ray photoelectron spectroscopy

〇Koji Horiba¹ (1.KEK-IMSS)

Keywords:Synchrotron Radiation, X-ray Photoelectron Spectroscopy

SPring-8東京大学アウトステーションビームラインBL07LSUにおいて開発した、最高70 nmにまで集光した放射光軟X線を励起高原としたナノ集光光電子分光装置（3D nano-ESCA）を用いて、様々な材料およびデバイス構造のオペランド顕微分光計測を行った事例について紹介する。