[13p-D215-1~6] 量子ビームによる表面物性・構造解析の新展開

[13p-D215-5] ナノ集光光電子分光による固体デバイスのオペランド電子状態解析

〇堀場 弘司¹ (1.KEK物構研)

キーワード：放射光、X線光電子分光

SPring-8東京大学アウトステーションビームラインBL07LSUにおいて開発した、最高70 nmにまで集光した放射光軟X線を励起高原としたナノ集光光電子分光装置（3D nano-ESCA）を用いて、様々な材料およびデバイス構造のオペランド顕微分光計測を行った事例について紹介する。