[13p-D221-1~14] 6.4 薄膜新材料

△ [13p-D221-12] 多層膜固相エピタキシー法により合成したLa₂O₂Sb薄膜の電気伝導

〇山本 裕貴¹、河底 秀幸¹、福村 知昭^1,2 (1.東北大理、2.東北大WPI-AIMR & CRC, CSIS, CSRN)

キーワード：Sb正方格子、多層膜固相エピタキシー法、スパッタリング法