3:30 PM - 3:45 PM
[13p-D305-7] Hydrosilylation of high porosity porous Silicon with 1-Hexene in Supercritical CO2 fluid
Keywords:Porous Silicon, Supercritical fluid
本研究では,PSiによる高効率・高安定な発光を得るために,多孔率80%のPSi層に対し,超臨界CO2流体を用いた乾燥及びヒドロシリル化を行い,その結果について報告する.