[13p-D311-1~5] 遷移金属化合物薄膜の光機能の量子ビームによる探究

[13p-D311-5] 埋もれた薄膜界面の多面的な量子ビーム計測の将来展望

〇桜井 健次¹ (1.物材機構)

キーワード：薄膜界面、イメージング、時間分解測定

薄膜・多層膜の機能は、その層構造、界面構造に左右されることが多く、そのため薄膜の構造を調べるための技術開発は活発に行われてきている。表面に露出していない、埋もれた構造ゆえの困難さはあるが、限られたスケールでの静的な構造をとらえることはできるようになってきた。今後は、部分と全体、さらにその時間的な変化をひとまとめにして理解しようとするような構造研究が求められるのではないだろうか。