[13p-D411-1~16] 6.3 酸化物エレクトロニクス

△ [13p-D411-12] 電流誘起金属絶縁体転移を示すCa₂RuO₄薄膜の電流–電圧特性の評価

〇椿 啓司¹、福地 厚¹、石田 典輝¹、有田 正志¹、片瀬 貴義²、神谷 利夫²、高橋 庸夫¹ (1.北大院情報、2.東工大フロ研)

キーワード：金属絶縁体転移、ルテニウム酸化物、電流誘起相転移

Ca₂RuO₄は電場・電流誘起による金属絶縁体転移を示すことで近年注目されている物質である。従来Ca₂RuO₄ではRu欠損の発生のために薄膜での金属絶縁体転移の観測は困難であったが、我々は固相エピタキシャル成長法により金属絶縁体転移を示す薄膜の作製に成功した。現在、薄膜を用いた高電流密度下での物性評価やデバイス作製が可能となっており、今回は抵抗変化デバイスとしての応用可能性を評価するため、電流–電圧特性の詳細な評価を行った。