[13p-D511-1~8] Pitfalls in thermoelectric measurements

[13p-D511-3] Physical property measurement by the ResiTest & M91:Resistivity / Hall measurement system

〇Hirotaka Asakura¹ (1.TOYO Corporation)

Keywords:resistance measurement, Hall effect measurement

半導体は我々の生活に大きな役割を担っています。研究開発の段階で半導体の特性を知るために基礎物性であるキャリア輸送特性を調べる事が不可欠です。これらは比抵抗/ホール測定装置により調べる事ができますが、不適切なサンプル形状や電極により測定誤差が大きくなり本来の値を得る事ができない事が多々あります。本講演では比抵抗/ホール測定における注意点を述べたいと思います。