[13p-D511-1~8] 熱・電気物性測定の落とし穴

[13p-D511-3] ResiTest・M91:⽐抵抗/ホール測定システムによる物性測定

〇朝倉 浩貴¹ (1.東陽テクニカ)

キーワード：抵抗測定、ホール効果測定

半導体は我々の生活に大きな役割を担っています。研究開発の段階で半導体の特性を知るために基礎物性であるキャリア輸送特性を調べる事が不可欠です。これらは比抵抗/ホール測定装置により調べる事ができますが、不適切なサンプル形状や電極により測定誤差が大きくなり本来の値を得る事ができない事が多々あります。本講演では比抵抗/ホール測定における注意点を述べたいと思います。