[13p-D511-1~8] 熱・電気物性測定の落とし穴

[13p-D511-8] 3ω法による熱伝導率測定

〇宮崎 康次¹ (1.九州工大工)

キーワード：熱伝導率、薄膜

3オメガ法により，基板上に蒸着した厚みがわずか数10～数100nmの薄膜熱伝導率を測定でき，蒸着膜によって作製されたデバイスの熱特性評価などに利用されている．金属細線を測定対象に蒸着すればよく，特殊な装置を必要としないため，熱伝導率計測でよく利用される．本講演では，3オメガ法の具体的な例に従って，測定法の概要を紹介する．