[13p-PA10-1~21] 13.8 光物性・発光デバイス

[13p-PA10-19] マルチミスト源を使用したCVD法によるZnMgO薄膜の形成

〇西川 幸志、佐伯 翔吾、齋藤 嘉騎、仲田 直史、飯野 隼生、深田 晴己、山口 敦史

キーワード：ミストCVD法