[13p-PA2-1~11] 3.14 光制御デバイス・光ファイバー

[13p-PA2-11] 修正メニスカスエッチング法による石英製コアを持つテーパー化光ファイバーの作製

〇物部 秀二¹ (1.東洋大理工)

キーワード：近接場光学、エッチング、光ファイバー

石英製光ファイバーのメニスカスエッチングは近接場光学ファイバープローブを作るための簡便な方法として知られてきた．純粋石英製コアを有する市販光ファイバーをシリコーンオイルを浮かべたフッ化水素酸中に1時間あるいはそれ以下の間浸漬することにより，誰でも容易に先鋭角20度程度のテーパー化ファイバーを得ることができる．しかし，プローブの透過効率を増加するためには先鋭角を増加しなければならない．先鋭角が拡大されたテーパー化ファイバーを作製するため，著者はエッチング時間が数十倍に延長された修正メニスカスエッチングを提案する．