[13p-PA7-1~12] 3.11 フォトニック構造・現象

[13p-PA7-3] Siフォトニック結晶導波路光偏向器の温度不均一領域の除去によるビーム品質向上

〇児玉 直也¹、伊藤 寛之²、馬場 俊彦² (1.横国大理工、2.横国大院工)

キーワード：Siフォトニクス、加熱式ビーム偏向、ビーム品質向上