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[13p-PA7-5] ヘテロ反射ミラーを導入した平面方向出射シリコンラマンレーザの検討
キーワード:シリコンラマンレーザ、ヘテロ反射ミラー、平面出射
高 Q 値ナノ共振器を用いたシリコンラマンレーザはμW以下の閾値で安定に室温連続発振する.本デバイスの応用幅を広げるには,励起効率を向上するとともに,ラマンレーザ光の多くを共振器に隣接する導波路に出力すること(面内出射型)が重要になる.単一共振モードに対する前述の技術は格子定数を変化させて作るヘテロ反射ミラーで実証されている.今回ヘテロ反射ミラーを導入したラマンレーザ構造を検討したので報告する.