[13p-PA7-1~12] 3.11 フォトニック構造・現象

[13p-PA7-6] ナノ共振器シリコンラマンレーザの作製歩留まり向上の検討

〇(B)藤本 正直¹、川勝 太郎¹、安田 孝正¹、浅野 卓²、野田 進²、高橋 和¹ (1.大阪府大院工、2.京大院工)

キーワード：シリコンラマンレーザ、フォトニック結晶、ラマン散乱

我々は高Q値フォトニック結晶ナノ共振器を用いて，閾値1 µW以下で室温連続発振するシリコンラマンレーザを開発してきた．低閾値レーザ発振には，2つの共振モードのQ値が高いこと，周波数差がシリコンのラマンシフトに一致することが重要である．しかし，これらの値は作製精度に起因する空気孔の半径・位置揺らぎによりばらつきが生じる．ラマンレーザの作製歩留まりを向上させるべく，共振器構造を改良して検討を行った．