[13p-PA8-1~20] 6.2 カーボン系薄膜

[13p-PA8-12] アニール処理における窒素含有DLCの特性変化

〇河上 瑛彦¹、野村 明寛¹、平塚 傑工²、中森 秀樹²、本間 章彦¹、平栗 健二¹、大越 康晴¹ (1.東電大、2.ナノテック)

キーワード：非晶質炭素膜

ダイヤモンド状炭素 (DLC: Diamond-like Carbon film) 膜は，sp²構造とsp³構造が混在する非晶質炭素膜の一つであり，半導体の性質を有する． DLCを透明膜として用いるには，透過率の向上が課題となる．900 nmまでの赤外光を含む領域まで光吸収可能な太陽電池の開発も進んでおり，赤外領域も考慮した透過率の維持が要求される．本研究では，DLCの透過率向上を目的として，窒素含有DLC (N-DLC)を作製した。そしてアニール処理を行い，アニール温度における透過率変化を検討した．