[13p-PA8-1~20] 6.2 カーボン系薄膜

[13p-PA8-16] 各種子分子材料上に成膜したDLCの電気特性評価

〇高田 歩¹、鈴木 貴大¹、小畑 修二¹、本間 章彦¹、平栗 健二¹、大越 康晴¹ (1.東京電機大学)

キーワード：DLC

ダイヤモンド状炭素(DLC：Diamond-like Carbon)膜は，物理的，化学的に安定した特性を有する．近年では，摺動性，ガスバリヤ性，生体適合性等において，DLCの成膜対象は金属材料から高分子材料まで，その用途は多岐に渡る．しかし，DLCの基板依存性については，十分な報告がなされていない．そこで本稿では，異なる高分子基板表面に，同一条件にてDLCを成膜し，電気特性の観点からDLCの基板依存性について検討した．