[13p-PA8-1~20] 6.2 カーボン系薄膜

[13p-PA8-9] 多孔性高分子焼結体由来の炭素質スパッタ膜の構造と有機ガス吸着測定

〇飯塚 つかさ¹、須田 順子¹、杉本 岩雄¹、高橋 和彦² (1.東京工科大CS学部CS学科、2.同志社大)

キーワード：スパッタリング、ガス吸着測定、炭素質膜