[13p-PA9-1~25] 13.7 化合物及びパワー電子デバイス・プロセス技術

[13p-PA9-18] 分極接合基板における2DEG枯渇電圧の解析的導出

〇(B)松橋 泰平¹、星井 拓也¹、沖田 寛昌¹、中島 昭²、角嶋 邦之¹、若林 整¹、筒井 一生¹ (1.東工大、2.産業技術総合研究所)

キーワード：分極接合基板