[13p-PA9-1~25] 13.7 化合物及びパワー電子デバイス・プロセス技術

[13p-PA9-3] 大気圧熱プラズマジェットアニールにおける放射温度計を用いたGaNの温度測定

〇花房 宏明¹、東 清一郎¹ (1.広大院先端研)

キーワード：大気圧熱プラズマジェットアニール、窒化ガリウム、短時間アニール