[13p-PA9-1~25] 13.7 化合物及びパワー電子デバイス・プロセス技術

[13p-PA9-9] エッチング条件によるβ-Ga₂O₃表面形態への影響

〇森山 裕貴¹、新海 聡子¹ (1.九工大)

キーワード：酸化ガリウム