[13p-PB1-1~29] 15.4 III-V-group nitride crystals

[13p-PB1-13] Size dependence of μLED using insulation technology by B+ implantation

〇(M1)Lan Luo¹, Hiroki Yasunaga^1,2, Hiroto Sekiguchi^1,2 (1.Toyohashi Tech, 2.JST PRESTO)

Keywords:microLED

AR/VRなどの次世代ディスプレイへの応用に向けてマイクロLEDに注目が集まっている。このようなディスプレイでは高い指向性を有する10mm以下の極めて微小なマイクロLEDの集積化が求められる。そこでB⁺注入技術による絶縁化技術を用いて平坦なマイクロLEDを提案する。本研究では，マイクロレンズに組み合わせる平坦な青色マイクロLEDの発光特性のサイズ依存性を調べ，今後のLEDの微細化に向けた課題を得ることとした。