[13p-PB1-1~29] 15.4 III-V族窒化物結晶

[13p-PB1-13] B⁺注入による絶縁化技術を用いたマイクロLEDのサイズ依存性

〇(M1)羅 瀾¹、安永 弘樹^1,2、関口 寛人^1,2 (1.豊橋技科大、2.JST さきがけ)

キーワード：マイクロLED

AR/VRなどの次世代ディスプレイへの応用に向けてマイクロLEDに注目が集まっている。このようなディスプレイでは高い指向性を有する10mm以下の極めて微小なマイクロLEDの集積化が求められる。そこでB⁺注入技術による絶縁化技術を用いて平坦なマイクロLEDを提案する。本研究では，マイクロレンズに組み合わせる平坦な青色マイクロLEDの発光特性のサイズ依存性を調べ，今後のLEDの微細化に向けた課題を得ることとした。