[13p-PB1-1~29] 15.4 III-V族窒化物結晶

[13p-PB1-25] 有機金属気相エピタキシー成長におけるAlN(0001)表面でのステップ端における吸着・脱離の挙動に関する理論的検討

〇(M2)相可 拓巳¹、秋山 亨¹、プラディプト アブダルムィッツ¹、中村 浩次¹、伊藤 智徳¹ (1.三重大学院工)

キーワード：ステップフロー成長、エーリッヒ・シュワーベルバリアー、吸着・脱離

本研究では、MOVPE成長条件を想定した場合でのAlN(0001)表面におけるAlおよびN原子の吸着・脱離およびマイグレーション挙動を明らかにし、ESBとステップフロー成長との関係性を検討する。