11:45 〜 12:15
[14a-A201-8] 放射光で観たエアロゾル薄膜成長
キーワード:エアロゾルデポジション法、結晶構造解析、放射光X線回折
ガラス基板上に製膜された酸化物強誘電体エアロゾルデポジション(AD)膜に対して放射光X線回折実験を行った.膜成長の仕組みを原材料粉の化学結合の特徴や膜の配向特性等に関連付けて議論する.
シンポジウム(口頭講演)
シンポジウム » 低温(常温)接合界面及び薄膜成長界面ナノ・キベルネテス(舵手)
11:45 〜 12:15
キーワード:エアロゾルデポジション法、結晶構造解析、放射光X線回折