2020年第67回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

シンポジウム(口頭講演)

シンポジウム » 低温(常温)接合界面及び薄膜成長界面ナノ・キベルネテス(舵手)

[14a-A201-1~8] 低温(常温)接合界面及び薄膜成長界面ナノ・キベルネテス(舵手)

2020年3月14日(土) 09:00 〜 12:15 A201 (6-201)

西川 博昭(近畿大)、山本 哲也(高知工科大)

11:45 〜 12:15

[14a-A201-8] 放射光で観たエアロゾル薄膜成長

黒岩 芳弘1 (1.広大院理)

キーワード:エアロゾルデポジション法、結晶構造解析、放射光X線回折

ガラス基板上に製膜された酸化物強誘電体エアロゾルデポジション(AD)膜に対して放射光X線回折実験を行った.膜成長の仕組みを原材料粉の化学結合の特徴や膜の配向特性等に関連付けて議論する.