[14a-A202-1~8] 13.2 探索的材料物性・基礎物性

[14a-A202-8] スパッタ法による導電膜上BaSi₂膜の成長と特性評価

〇小板橋 嶺太¹、根本 泰良¹、召田 雅実²、倉持 豪人²、都甲 薫¹、末益 崇¹ (1.筑波大学、2.東ソー)

キーワード：半導体、スパッタリング