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一般セッション(口頭講演)

15 結晶工学 » 15.4 III-V族窒化物結晶

[14a-A302-1~13] 15.4 III-V族窒化物結晶

2020年3月14日(土) 09:00 〜 12:30 A302 (6-302)

荒木努(立命館大)、林侑介(三重大)

12:00 〜 12:15

[14a-A302-12] スパッタ法によるAlN上へのNbN極薄膜エピタキシャル成長

〇小林篤¹、上野耕平¹、藤岡洋¹ (1.東大生研)

キーワード：超伝導、窒化物半導体