[14a-A302-1~13] 15.4 III-V族窒化物結晶

[14a-A302-4] スパッタ法によるGaNへの不純物添加と素子応用

〇上野 耕平¹、森川 創一朗¹、柴原 啓太¹、小林 篤¹、藤岡 洋^1,2 (1.東大生研、2.JST-ACCEL)

キーワード：GaN、スパッタリング