2020年第67回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

15 結晶工学 » 15.4 III-V族窒化物結晶

[14a-A302-1~13] 15.4 III-V族窒化物結晶

2020年3月14日(土) 09:00 〜 12:30 A302 (6-302)

荒木 努(立命館大)、林 侑介(三重大)

11:15 〜 11:30

[14a-A302-9] a面サファイア上に形成した高温アニールしたスパッタAlN上へのAl 0.6 Ga 0.4 N厚膜
の作製

〇(B)下川 萌葉1、岩山 章1,2、手良村 昌平1、櫻木 勇介1、安江 信次1、石塚 彩花1、大森 智也1、山田 和輝1、田中 隼也1、佐藤 恒輔1,3、岩谷 素顕1、竹内 哲也1、上山 智1、赤﨑 勇4、三宅 秀人2 (1.名城大、2.三重大地域イノベ、3.旭化成、4.名古屋大赤崎記念研究センター)

キーワード:半導体、AlGaN、UV-B