[14a-A303-1~7] 13.8 光物性・発光デバイス

[14a-A303-7] H₂Oガスでスパッタ成膜したEr³⁺ドープBi₂O₃膜の発光特性

〇赤沢 方省¹ (1.NTTデバイスイノベーションセンタ)

キーワード：Er3+、Bi2O3、PL

Er³⁺イオンをドープする母体材料としてBi₂O₃を使った導波路型の光デバイスが開発されている。しかしこの系における基本的な物性はほとんど研究されていない。今回成膜時の酸素源としてH₂Oを使うことで、O₂に比べて1桁高いEr³⁺からの近赤外発光強度を実現した。結晶相とスペクトル形状、発光強度の関連についての知見を報告する。