[14a-A405-1~7] 22.1 Joint Session M "Phonon Engineering"

[14a-A405-4] [Young Scientist Presentation Award Speech] Thermophysical Properties of Amorphous Oxide Thin Films; (1) Thermal Conductivity Control for Amorphous Al₂O₃ Thin Films

〇Chinami Abe¹, Yuichiro Yamashita^1,2, Yukimi Tanaka², Takashi Yagi^1,2, Makoto Kashiwagi¹, Junjun Jia³, Koichiro Hattori², Naoyuki Taketoshi^1,2, Toshihiro Okajima⁴, Yuki Oguchi⁵, Yuzo Shigesato¹ (1.Aoyama Gakuin Univ., 2.AIST, 3.Waseda Univ., 4.Aichi SR, 5.AGU-CIA)

Keywords:Thermophysical properties

アモルファスAl₂O₃薄膜の熱伝導率は原子数密度に依存することが知られている。本研究では、スパッタ成膜時の全圧、基板温度などを変化させ、熱伝導率の変化範囲を調べた。また、熱伝導率の音速（ヤング率）、膜の局所構造との関連にも着目した。熱物性解析はナノ秒サーモリフレクタンス法、膜の局所構造解析はXAFSにより行った。結果、Al₂O₃薄膜の熱伝導率変化に、数密度だけでなく膜の局所構造も影響することを見出した。